एमएसबी श्रृंखला मध्यम आवृत्ति स्पटरिंग विद्युत आपूर्ति
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एमएसबी श्रृंखला मध्यम आवृत्ति स्पटरिंग विद्युत आपूर्ति
आरएचएच श्रृंखला आरएफ बिजली आपूर्ति ग्राहकों को अधिक शक्ति, उच्च परिशुद्धता और तेज प्रतिक्रिया के साथ आरएफ बिजली आपूर्ति प्रदान करने के लिए परिपक्व आरएफ पीढ़ी तकनीक पर निर्भर करती है।चरण के साथ सेट किया जा सकता है, पल्स नियंत्रणीय, डिजिटल ट्यूनिंग और अन्य कार्य।लागू क्षेत्र: फोटोवोल्टिक उद्योग, फ्लैट पैनल डिस्प्ले उद्योग, अर्धचालक उद्योग, रासायनिक उद्योग, प्रयोगशाला, वैज्ञानिक अनुसंधान, विनिर्माण, आदि।
लागू प्रक्रियाएं: प्लाज्मा संवर्धित रासायनिक वाष्प जमाव (पीईसीवीडी), प्लाज्मा नक़्क़ाशी, प्लाज्मा सफाई, रेडियो फ्रीक्वेंसी आयन स्रोत, प्लाज्मा प्रसार, प्लाज्मा पोलीमराइजेशन स्पटरिंग, प्रतिक्रियाशील स्पटरिंग, आदि।