निक्षेप
अंतर्दृष्टि प्राप्त करें और विकास प्रक्रिया को गति दें।
एडवांस्ड एनर्जी महत्वपूर्ण पतली फिल्म जमाव अनुप्रयोगों और डिवाइस ज्यामिति के लिए बिजली आपूर्ति और नियंत्रण समाधान प्रदान करता है। वेफर प्रसंस्करण चुनौतियों को हल करने के लिए, हमारे सटीक बिजली रूपांतरण समाधान आपको बिजली की सटीकता, परिशुद्धता, गति और प्रक्रिया दोहराव को अनुकूलित करने की अनुमति देते हैं।
हम आरएफ आवृत्तियों, डीसी पावर सिस्टम, अनुकूलित पावर आउटपुट स्तर, मिलान तकनीक और फाइबर ऑप्टिक तापमान निगरानी समाधानों की एक विस्तृत श्रृंखला प्रदान करते हैं जो वास्तव में आपको प्रक्रिया प्लाज्मा को बेहतर ढंग से नियंत्रित करने में सक्षम बनाते हैं। हम प्रक्रिया अंतर्दृष्टि प्रदान करने और विकास प्रक्रिया को गति देने के लिए फास्ट DAQ™ और हमारे डेटा अधिग्रहण और पहुंच सूट को भी एकीकृत करते हैं।
अपनी आवश्यकताओं के अनुरूप समाधान खोजने के लिए हमारी अर्धचालक विनिर्माण प्रक्रियाओं के बारे में अधिक जानें।
आपकी चुनौती
एकीकृत परिपथ आयामों को पैटर्न करने के लिए प्रयुक्त फिल्मों से लेकर सुचालक और इन्सुलेटिव फिल्मों (विद्युत संरचनाएं) तक, धातु फिल्मों (अंतरसंयोजन) तक, आपकी जमाव प्रक्रियाओं को परमाणु-स्तर नियंत्रण की आवश्यकता होती है - न केवल प्रत्येक सुविधा के लिए बल्कि पूरे वेफर में।
संरचना के अलावा, आपकी जमा की गई फ़िल्में उच्च गुणवत्ता वाली होनी चाहिए। उनमें वांछित अनाज संरचना, एकरूपता और अनुरूप मोटाई होनी चाहिए, और शून्य-मुक्त होनी चाहिए - और यह आवश्यक यांत्रिक तनाव (संपीड़न और तन्यता) और विद्युत गुण प्रदान करने के अतिरिक्त है।
जटिलता केवल बढ़ती ही जा रही है। लिथोग्राफी सीमाओं (सब-1X एनएम नोड्स) को संबोधित करने के लिए, स्व-संरेखित डबल और क्वाड्रुपल पैटर्निंग तकनीकों के लिए आपकी जमा प्रक्रिया को हर वेफर पर पैटर्न का उत्पादन और पुनरुत्पादन करने की आवश्यकता होती है।
हमारा समाधान
जब आप सबसे महत्वपूर्ण निक्षेपण अनुप्रयोगों और उपकरण ज्यामितियों को तैनात करते हैं, तो आपको एक विश्वसनीय बाजार नेता की आवश्यकता होती है।
एडवांस्ड एनर्जी की आरएफ पावर डिलीवरी और उच्च गति मिलान तकनीक आपको सभी उन्नत PECVD और PEALD जमाव प्रक्रियाओं के लिए आवश्यक पावर सटीकता, परिशुद्धता, गति और प्रक्रिया पुनरावृत्ति को अनुकूलित और अनुकूलित करने में सक्षम बनाती है।
अपने विन्यास योग्य आर्क प्रतिक्रिया, शक्ति सटीकता, गति, और प्रक्रिया पुनरावृत्ति की आवश्यकता वाले पीवीडी (स्पटरिंग) और ईसीडी जमाव प्रक्रियाओं को ठीक करने के लिए हमारी डीसी जनरेटर प्रौद्योगिकी का उपयोग करें।
फ़ायदे
● बढ़ी हुई प्लाज्मा स्थिरता और प्रक्रिया पुनरावृत्ति से उपज बढ़ती है
● पूर्ण डिजिटल नियंत्रण के साथ सटीक आरएफ और डीसी डिलीवरी प्रक्रिया दक्षता को अनुकूलित करने में मदद करती है
● प्लाज्मा परिवर्तन और आर्क प्रबंधन पर तीव्र प्रतिक्रिया
● अनुकूली आवृत्ति ट्यूनिंग के साथ बहु-स्तरीय स्पंदन नक़्काशी दर चयनात्मकता में सुधार करता है
● अधिकतम अपटाइम और उत्पाद प्रदर्शन सुनिश्चित करने के लिए वैश्विक समर्थन उपलब्ध है