निक्षेप
अंतर्दृष्टि प्राप्त करें और विकास प्रक्रिया को गति दें।
उन्नत ऊर्जा महत्वपूर्ण पतली फिल्म जमाव अनुप्रयोगों और डिवाइस ज्यामिति के लिए बिजली आपूर्ति और नियंत्रण समाधान प्रदान करती है।वेफर प्रसंस्करण चुनौतियों को हल करने के लिए, हमारे सटीक बिजली रूपांतरण समाधान आपको बिजली सटीकता, परिशुद्धता, गति और प्रक्रिया दोहराव को अनुकूलित करने की अनुमति देते हैं।
हम आरएफ आवृत्तियों, डीसी पावर सिस्टम, अनुकूलित पावर आउटपुट स्तर, मिलान प्रौद्योगिकियों और फाइबर ऑप्टिक तापमान निगरानी समाधानों की एक विस्तृत श्रृंखला प्रदान करते हैं जो वास्तव में आपको प्रक्रिया प्लाज्मा को बेहतर ढंग से नियंत्रित करने में सक्षम बनाते हैं।हम प्रक्रिया की जानकारी प्रदान करने और विकास प्रक्रिया को गति देने के लिए फास्ट DAQ™ और हमारे डेटा अधिग्रहण और एक्सेसिबिलिटी सूट को भी एकीकृत करते हैं।
आपकी आवश्यकताओं के अनुरूप समाधान ढूंढने के लिए हमारी सेमीकंडक्टर निर्माण प्रक्रियाओं के बारे में और जानें।
आपकी चुनौती
इंटीग्रेटेड सर्किट आयामों को पैटर्न देने के लिए उपयोग की जाने वाली फिल्मों से लेकर प्रवाहकीय और इन्सुलेटिव फिल्मों (विद्युत संरचनाओं) तक, धातु फिल्मों (इंटरकनेक्शन) तक, आपकी जमाव प्रक्रियाओं को परमाणु-स्तर नियंत्रण की आवश्यकता होती है - न केवल प्रत्येक सुविधा के लिए बल्कि पूरे वेफर में।
संरचना से परे, आपकी जमा फिल्में उच्च गुणवत्ता वाली होनी चाहिए।उनमें वांछित अनाज संरचना, एकरूपता और अनुरूप मोटाई होनी चाहिए, और शून्य-मुक्त होना चाहिए - और यह आवश्यक यांत्रिक तनाव (संपीड़न और तन्यता) और विद्युत गुण प्रदान करने के अतिरिक्त है।
जटिलता बढ़ती ही जा रही है।लिथोग्राफी सीमाओं (उप-1X एनएम नोड्स) को संबोधित करने के लिए, स्व-संरेखित डबल और क्वाड्रपल पैटर्निंग तकनीकों को प्रत्येक वेफर पर पैटर्न का उत्पादन और पुनरुत्पादन करने के लिए आपकी जमाव प्रक्रिया की आवश्यकता होती है।
हमारा समाधान
जब आप सबसे महत्वपूर्ण जमाव अनुप्रयोगों और डिवाइस ज्यामिति को तैनात करते हैं, तो आपको एक विश्वसनीय बाज़ार नेता की आवश्यकता होती है।
उन्नत ऊर्जा की आरएफ बिजली वितरण और उच्च गति मिलान तकनीक आपको सभी उन्नत पीईसीवीडी और पीईएएलडी जमाव प्रक्रियाओं के लिए आवश्यक बिजली सटीकता, परिशुद्धता, गति और प्रक्रिया दोहराव को अनुकूलित और अनुकूलित करने में सक्षम बनाती है।
अपनी कॉन्फ़िगर करने योग्य आर्क प्रतिक्रिया, पावर सटीकता, गति और प्रक्रिया दोहराव के लिए आवश्यक पीवीडी (स्पटरिंग) और ईसीडी जमाव प्रक्रियाओं को ठीक करने के लिए हमारी डीसी जनरेटर तकनीक का उपयोग करें।
फ़ायदे
● उन्नत प्लाज्मा स्थिरता और प्रक्रिया दोहराव से उपज बढ़ती है
● पूर्ण डिजिटल नियंत्रण के साथ सटीक आरएफ और डीसी डिलीवरी प्रक्रिया दक्षता को अनुकूलित करने में मदद करती है
● प्लाज्मा परिवर्तन और आर्क प्रबंधन पर तीव्र प्रतिक्रिया
● अनुकूली आवृत्ति ट्यूनिंग के साथ बहु-स्तरीय स्पंदन ईच दर चयनात्मकता में सुधार करता है
● अधिकतम अपटाइम और उत्पाद प्रदर्शन सुनिश्चित करने के लिए वैश्विक समर्थन उपलब्ध है